今注目の半導体製造に使われる六角穴付き特殊ボルトについて
半導体をつくる半導体製造の機械に用いられる六角穴付き特殊ボルトの特徴や種類について解説します。一般的なねじとの違い、どんな種類の六角穴付き特殊ボルトがあるかなどをご紹介いたします。
半導体製造の機械につ使われる六角穴付き特殊ボルトと一般的なねじの違い
半導体製造の機械に使われる六角穴付き特殊ボルトと一般的なねじとの違いとして2つご紹介します。
❶ 丁寧な仕上げ処理が必要
半導体製造の機械に使われる六角穴付き特殊ボルトは一般的なねじと比べ、より丁寧な仕上げ処理が求められます。半導体は、超精密部品ですので小さな傷もつけられません。半導体を製造する機械はさらに精度が求められます。つまりそこに使われる六角穴付き特殊ボルトも当然相応の精度が求められます。
精度の高い仕上げ処理としては、
●微細なバリの除去
●メッキ処理（鉄の場合は無電解ニッケル等、アルミの場合はアルマイト処理等）
●精度の高い傷の検査
●超音波洗浄
●丁寧な梱包
❷ 素材はステンレスが多い
半導体製造の機械に使われる六角穴付き特殊ボルトは、クリーンルーム等で用いられることを想定し、耐久性・耐食性・防錆が求められます。素材としてはステンレスが使われれることが多くあります。 重量を出来るだけ軽くする必要がある場合はアルミが用いられます。また、アルミは加工しやすいので、その面で採用されることも多くあります。 他にも、半導体製造装置に用いられるねじは、耐久性や耐熱性・耐薬品性が求められます。特殊な材質の六角穴付き特殊ボルトが多いです。
六角穴付き特殊ボルトの種類
半導体製造の機械に使われる六角穴付き特殊ボルトにはどのような種類があるのでしょうか。2つご紹介します。
六角穴付きエア抜きボルト
六角穴付きエア抜きボルトは、ボルトの中心に貫通穴があいているボルトです。ボルトを締め付けた際に相手側にたまった気体を抜く際に使用します。六角穴付きエア抜きボルトは、半導体装置などでよく使われています。真空ネジとも呼ばれます。
六角穴付き低頭ボルト
六角穴付き低頭ボルトとは、一般的なねじよりも頭部高さを低くした六角穴付きボルトのことです。ボルト頭部の出っ張りをできるだけ抑えるために使われます。頭部の他の部材への干渉を防ぎます。
六角穴付き特殊ボルトの製造について
当社は自動車部品や、精密機械、家電、建築等の様々な業界の六角穴付き特殊ボルトを作ってきました。
また、鉄やアルミ、ステンレス、銅、チタン、インコネルなど、様々な素材・材質の六角穴付き特殊ボルトを製造しております。様々なお客様のご要望、使用用途などに合わせて、最適な六角穴付き特殊ボルトの提案をしております。